由 郭笑 更新于 7 个月 之前
1、修改EFEM_Service配置文件 "LoadPortOpt":{ "NoUnLoadWhenTaskFinished":true }, 2、启用生产检测,生产检测结束后,LP状态为UnRunning 3、通过EFEM_UI选择一个有基片的槽位,点击Load 3、通过EFEM_UI取基片 4、基片无法放到检测平台,看截图! !clipboard-202412161811-rr4cl.png!
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