需求 #3172: 采图的时候,需要把对准偏移量Z计算到采图里面
由 钱忠祥 在 7 个月 之前添加. 更新于 7 个月 之前.
0%
对准界面,坐标偏移为三维坐标,以往版本仅使用XY,计划将Z轴偏移用上;对应带膜的掩模版,使用玻璃面做对准,检测时偏移一定的Z轴高度来检测膜面。
如果两个recipe,一个检测膜面,一个检测玻璃面,如何处理。
暂时不考虑上面这种情况,如有需要,使用IRIS类型Recipe进行检测;
导出 Atom PDF