3.VIS 4

目前生产时，
在原本良率设置中，勾选良率过低检测终止。检测会终止，但片盒未检测的片子仍然会做一遍上下片动作。
1.检测终止应当所有基片停止生产。未检测的基片状态为Cancel
2.（讨论）原本良率设置中，良率过低检测终止，目前是所有recipe全部终止。是否需要考虑当前recipe终止。

• 检测中的异常停止（硬件报错等）走结果处理流程汇总；
• 良率过低等预期中止条件触发时，中止当前Recipe检测；
  以上对单片检测、生产检测均生效。