错误 #2838
已关闭
EFEM - 生产检测过程中，LP盒中的第一个基片良率阈值过低，终止检测，任务状态为InspectFail，剩余基片只执行了上下片动作并未执行检测任务，任务状态显示为success不对
由 郭笑 在 11 个月 之前添加.
更新于 10 个月 之前.
文件
- 状态 从 新建 变更为 已解决
- 指派给 从 蒋毅 变更为 郭笑
- 状态 从 已解决 变更为 反馈
- 指派给 从 郭笑 变更为 蒋毅
目前生产时，
在原本良率设置中，勾选良率过低检测终止。检测会终止，但片盒未检测的片子仍然会做一遍上下片动作。
1.检测终止应当所有基片停止生产。未检测的基片状态为Cancel
2.（讨论）原本良率设置中，良率过低检测终止，目前是所有recipe全部终止。是否需要考虑当前recipe终止。
- 项目 从 9.EFEM(设备前端模块) 变更为 3.VIS 4
- 状态 从 进行中 变更为 已解决
- 指派给 从 唐飞 变更为 郭笑
- 目标版本 从 1.2 变更为 4.3.6
此问题在
4.3.6EFEM 分支修改。
修改以下内容：
- 检测中的异常停止（硬件报错等）走结果处理流程汇总；
- 良率过低等预期中止条件触发时，中止当前Recipe检测；
以上对单片检测、生产检测均生效。
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