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2024-07-16 唐飞 开发 错误 #2838: EFEM - 生产检测过程中,LP盒中的第一个基片良率阈值过低,终止检测,任务状态为InspectFail,剩余基片只执行了上下片动作并未执行检测任务,任务状态显示为success不对 1.00 行为
2024-07-15 蒋毅 开发 错误 #2838: EFEM - 生产检测过程中,LP盒中的第一个基片良率阈值过低,终止检测,任务状态为InspectFail,剩余基片只执行了上下片动作并未执行检测任务,任务状态显示为success不对 2.00 行为
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