3.VIS 4

分析唯一Mark和OutDie异同；

• 对准点取MarkDie十字图案的某个位置；
• OffSet指的是上述位置和MarkDie左下角的偏移；
• 检测中对准之后，加上OffSet得到当前样片参考点位置。

• 对准点取的是Die阵列以外的点；
• 参考点取得是MarkDie左下角的点；
• 由上述两个点位可以计算出偏移OffSet；
• 检测中对准之后，加上OffSet得到当前样片参考点位置。

• 都是根据程式中对准点和参考点的偏移以及当前样片对准点的位置，计算得出当前样片参考点位置；

• 参考点位置不同；
1. 唯一Mark：参考点和对准点都在参考Die（MarkDie）内部；
2. OutDie：参考点在参考Die内部，对准点不在；

• 参考Die的选择：
1. 唯一Mark：选择MarkDie作为参考Die（扫描/导入晶圆结构后，MarkDie可以方便找到）
2. OutDie：检测区域最左上角Die（Die行列数已知，Die区域为矩形，顶点Die更容易定位）

• 客户不同：
1. 唯一Mark：好达
2. OutDie：全讯

• 删除参考点参数；
• 删除InDie、OutDie参数；
• OutDie也使用MarkOffset定位至参考点；
• 无图形检测，MarkOffset即为参考点；
• Mark偏移允许手动输入；
• Mark偏移不带括号；
• 删除【清空偏移】按钮，通过手动输入0，转为0，0清空偏移；

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