9.EFEM(设备前端模块)

1.上片过程中，LP提篮异常（被人为打开），LP会出现加锁失败，上片流程中止，只能通过重启EFEM_SVC服务恢复。
2.Load前LP电源关闭，接通电源后不能使用Reset恢复，只能重启服务。