9.EFEM(设备前端模块)

中芯五号机的EFEM在测试组件功能时，发现
Smif联锁信号异常：调试工具无法连接，屏蔽急停信号后，连接报错
机械手联锁信号异常：急停极易触发，无法通过正常方法解除，只能更换短接联锁信号的接头。
R轴原点信号异常：机械手写入R轴原点信号后，其他组件工具通讯不通过，通讯后触发急停
初步排查发现PLC中对应信号没有触发，需要生产检查接线