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错误 #6184

已关闭

中芯四号机的Smif不能识别带膜掩模板的正常在位情况，需要调整Smif的在位传感器

由 刘旭伟 在 24 天 之前添加. 更新于 23 天 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-09-23
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

Smif在搬运带膜的掩模板时，因厚度增加，Smif传感器不能正常识别基板的在位情况，需要再次调整传感器。

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 #1

由 刘旭伟 更新于 23 天 之前

  • 指派给 从 蒋顺国 变更为 刘旭伟
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 #2

由 刘旭伟 更新于 23 天 之前

蒋工协同厂商完成调试，铝板、掩模标准版、带膜掩膜版测试后未见异常，发机前持续观察中。

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 #3

由 刘旭伟 更新于 23 天 之前

  • 状态 从 新建 变更为 已关闭
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