上海传芯Storm3000U-1 - 错误 #6087: 一号机上料口异常卡死，EFEM界面显示unloading状态
由 蒋毅 在 大约一个月 之前添加. 更新于 大约一个月 之前.
0%
描述
1.同Smif厂商沟通，完善关盒不解锁接口。2.Smif固件更新。
让Smif厂商提供SOP
已验证Sop,在家中的5号机完成步骤测试，同时给连工完成Sop和调试工具的培训。
导出 Atom PDF