由 孙孙逊 在 3 个月 之前添加. 更新于 大约 2 个月 之前.
100%
描述
检测过程中ATF虚焦
文件
子任务 4 (0 打开 — 4 已关闭)
经排查,日志显示4块样片在Z轴预处理阶段执行正确,得到Z轴基准位置。但是在检测过程中ATF返回信号一直为0且样片检测结果为零缺陷。雷泰结果显示样片检测存在凹坑类硬缺陷,判定检测过程中虚焦。
导出 Atom PDF