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功能 #5470

已关闭

VIS-EFEM_1.3.30006 发包测试

由 蒋毅 在 3 个月 之前添加. 更新于 大约 2 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-07-29
计划完成日期:
2025-08-01
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

在5号机上验证测试EFEM_1.3.30006包。
机台环境同晶圆应用跟进。

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