2.Storm » 无锡中微 STORM 3000A

分步测试的内容更新到此问题上。

针对第4点，结构移至平台前端的问题，这个之前定方案时讨论过，结构在前端会有干涉机械手上片的风险，所以改到平台后方。
第5点的传感器位置调试标准将会在什么时候出来？标准出来审核后再关闭此问题单；
此问题单可能不会短时间内解决，需要配合处请及时提出，大家会通力配合。

文件以有word版本

1.水平安全传感器

使用示教器对点位分步做动作：
机械手上有片，使用PUT指令
机械手无片，使用GET指令
按下GET/PUT，进入操作选项页面，选择（3）DO STEP GET/PUT。当完成T轴和Z轴分步动作，提示伸展R轴时，说明机械手进入水平预对准位置。此时按住Shift+ESC，退回主页面，去除R轴使能，机械手R轴可在水平方向自由推动。开始调试对准水平LS的信号。
调试时，可在激光传感器的接收端（位于机械手侧方），固定一张无尘纸作为幕布（如下图），方便实时观察传感器激光发射端的偏移量。

个人手法和习惯不同，建议先调节发射端的水平角度，使得推拉机械手R轴的过程中（R轴已断使能），幕布的光斑在一个竖直方向上移动甚至不动。若推拉R轴的过程中，光斑仅在竖直方向上移动，则说明发射端的水平角度完成调节。

接着适当调节发射端的俯仰角，使得使得推拉机械手R轴的过程中，幕布的光斑始终在幕布上的同一个位置（这时对不上接收端是正常的）。
完成水平角度和俯仰角度的调节后，再微调发射端的高度和端子的伸出量，实现发射端完全对准接收端。最终实现，无论在远点（图1）和近点（图2），光斑可以始终居中对准机械手的传感器接收端（水平LS在下方）。

图 1

图 2
2.垂直安全传感器

同样使用示教器对点位做分步动作，按下GET/PUT，进入操作选项页面，选择（3）DO STEP GET/PUT。完成R轴伸展，机械手提示抓取时，说明机械手进入垂直预对准位置。此时开始调试对准前/后垂直LS的信号（点位不同所需对准的垂直位接收端不同）。

对准完成后，按住Shift+ESC，退回主页面，先将速度调至2，点动机械手Z轴至平台的基片放置位，过程中查看PLC面板对应的前/后垂直LS的信号情况，若有信号断开的情况则及时微调传感器的位置。

TIPS:所有传感器调节完成后需及时紧固到位