9.EFEM(设备前端模块)

机械手在转移晶圆的过程中，EFEM服务掉线，机械手报错，重启EFEM的服务后，机械手未复位，晶圆的真空吸附未解除，Restore无法写入在位信息，只能通过设备厂商的服务完成机械手的复位。