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错误 #4510

已关闭

EFEM上下片失败的问题

由 蒋志平 在 7 个月 之前添加. 更新于 7 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
蒋志平
开始日期:
2025-05-14
计划完成日期:
2025-05-25
% 完成:

70%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

上下片过程中又是会出现莫名的报错然后停止，详情请看附件log

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EFEM.7z (119 KB) EFEM.7z 相关log 蒋志平, 2025-05-14 12:38
clipboard-202505151734-hppun.png (61.8 KB) clipboard-202505151734-hppun.png 蒋毅, 2025-05-15 09:33
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