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错误 #4510

已关闭

EFEM上下片失败的问题

由 蒋志平 在 7 个月 之前添加. 更新于 7 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
蒋志平
开始日期:
2025-05-14
计划完成日期:
2025-05-25
% 完成:

70%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

上下片过程中又是会出现莫名的报错然后停止，详情请看附件log

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EFEM.7z (119 KB) EFEM.7z 相关log 蒋志平, 2025-05-14 12:38
clipboard-202505151734-hppun.png (61.8 KB) clipboard-202505151734-hppun.png 蒋毅, 2025-05-15 09:33
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 #1

由 蒋毅 更新于 7 个月 之前


此异常为 smif传感器异常。需要连续厂商协助应用调试smif内置传感器。

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 #2

由 俞晨羲 更新于 7 个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 进行中
  • % 完成 从 0 变更为 70
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 #3

由 俞晨羲 更新于 7 个月 之前

  • 计划完成日期 被设置为 2025-05-25
  • 指派给 从 俞晨羲 变更为 蒋志平

已安排厂家和蒋工对接，请蒋工出后反馈结果。

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 #4

由 蒋志平 更新于 7 个月 之前

  • 状态 从 进行中 变更为 已关闭

联系家里后解决

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