行为
错误 #4393
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旋转台摆放基板后,选中旋转台作为Load的起始位置,Aligner会以蓝色高亮显示,此时再移除基板,EFEM_UI的基板位置信息会立刻消除,Aligner不会随着解除蓝色高亮的状态
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旋转台摆放基板后,选中旋转台作为Load的起始位置,Aligner会以蓝色高亮显示,此时再移除基板,EFEM_UI的基板位置信息会立刻消除,Aligner不会随着解除蓝色高亮的状态