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需求 #4388

已关闭

EFEM旋台上下片

由 曾献彬 在 3 个月 之前添加. 更新于 大约 2 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
紧急
指派给:
周庆
开始日期:
2025-04-29
计划完成日期:
2025-05-26
% 完成:

100%

预期时间:
60.00 小时 (合计: 110.00 小时)
机台点位:
全局

描述

1、新增旋台上下片并且旋台可以旋转角度

子任务 3 (0 打开 — 3 已关闭)

9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #4362: 支持从旋转平台上下片已关闭刘旭伟2025-04-272025-05-11

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9.EFEM(设备前端模块) - 错误 #4390: 旋转台的角度指令现在LoadPortA位置和Aligner位置上片都不会执行已关闭刘旭伟2025-04-292025-05-10

行为
9.EFEM(设备前端模块) - 错误 #4393: 旋转台被选中的蓝色高亮显示不会随着旋转台移除基板而清除已关闭刘旭伟2025-04-292025-05-10

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