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功能 #4362

已关闭

上海凸版 STORM 3000A - 需求 #4388: EFEM旋台上下片

支持从旋转平台上下片

由 蒋毅 在 3 个月 之前添加. 更新于 2 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
刘旭伟
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-04-27
计划完成日期:
2025-05-11
% 完成:

100%

预期时间:
50.00 小时
机台点位:
全局

子任务 2 (0 打开 — 2 已关闭)

错误 #4390: 旋转台的角度指令现在LoadPortA位置和Aligner位置上片都不会执行已关闭刘旭伟2025-04-292025-05-10

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错误 #4393: 旋转台被选中的蓝色高亮显示不会随着旋转台移除基板而清除已关闭刘旭伟2025-04-292025-05-10

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