错误 #4143: EFEM自动UnloadR轴不归零 - 临港中芯 STORM 3000A-1 - BTS (问题跟踪系统)

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错误 #4143

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EFEM自动UnloadR轴不归零

由陈晨东在大约一个月之前添加. 更新于 3 天之前.

状态:

已关闭

优先级:

高

指派给:

开始日期:

2025-04-09

计划完成日期:

% 完成:

100%

预期时间:

机台点位:

全局

描述

EFEM自动UnloadR轴不归零

行为

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