错误 #4143: EFEM自动UnloadR轴不归零 - 临港中芯 STORM 3000A-1 - BTS (问题跟踪系统)

行为

错误 #4143

已关闭

EFEM自动UnloadR轴不归零

由陈晨东在大约一个月之前添加. 更新于 3 天之前.

状态:

已关闭

优先级:

高

指派给:

开始日期:

2025-04-09

计划完成日期:

% 完成:

100%

预期时间:

机台点位:

全局

描述

EFEM自动UnloadR轴不归零

行为

#1

由丁亮更新于大约一个月之前

% 完成 从 0 变更为 80

新版本EFEM1.3更新后解决此问题

行为

#2

由丁亮更新于 26 天之前

指派给 从丁亮变更为 陈晨东
% 完成 从 80 变更为 100

行为

#3

由陈晨东更新于 11 天之前

新版本软件更新后测试下片R轴也不归零，ACS显示速度超限

行为

#4

由陈晨东更新于 11 天之前

计划完成日期 已删除 (~~2025-04-30~~)
指派给 从 陈晨东 变更为施捷

行为

#5

由陈晨东更新于 3 天之前

状态从新建变更为 已关闭

行为

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