行为
需求 #4142
已关闭在load过程中,Smif盒的基板不在正常位,人为修正基板位置后,Smif回零操作简单化
描述
在load过程中,Smif盒的基板不在正常位,人为修正基板位置后,须重启EFEM_SVC服务,才可继续使用EFEM,能否在UI界面添加Smif的回零功能键,或者整合到reset中
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描述
在load过程中,Smif盒的基板不在正常位,人为修正基板位置后,须重启EFEM_SVC服务,才可继续使用EFEM,能否在UI界面添加Smif的回零功能键,或者整合到reset中