行为
功能 #3838
已关闭EFEM页面单槽位盒子追加槽位显示
描述
EFEM页面单槽位盒子追加槽位显示,以便于Load LP后显示是否存在基片以及后续显示基片ID,基片等级。
详情请见WIKI文档
[[http://192.168.10.241:8090/en/1-%E9%9C%80%E6%B1%82%E5%88%86%E6%9E%90/EFEM/%E4%B8%8D%E5%90%8C%E7%B1%BB%E5%9E%8B%E7%9B%92%E5%AD%90%E5%92%8C%E5%A4%9Abuffer%E7%9A%84%E9%A1%B5%E9%9D%A2%E8%AE%BE%E8%AE%A1]]
中【单槽位SMIF盒子页面】的内容。
文件
行为