功能 #3838
由 张萍 更新于 4 个月 之前
*EFEM页面单槽位盒子追加槽位显示，以便于Load LP后显示是否存在基片以及后续显示基片ID，基片等级。* EFEM页面单槽位盒子追加槽位显示，以便于Load LP后显示是否存在基片以及后续显示基片ID，基片等级。
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中【单槽位SMIF盒子页面】的内容。 详情请见WIKI文档【http://192.168.10.241:8090/en/1-%E9%9C%80%E6%B1%82%E5%88%86%E6%9E%90/EFEM/%E4%B8%8D%E5%90%8C%E7%B1%BB%E5%9E%8B%E7%9B%92%E5%AD%90%E5%92%8C%E5%A4%9Abuffer%E7%9A%84%E9%A1%B5%E9%9D%A2%E8%AE%BE%E8%AE%A1】中【单槽位SMIF盒子页面】内容。
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