项目

一般

简介

行为
复制链接

错误 #3733

已关闭

配置transfer功能将检测平台槽位3转运到CasstteB的槽位20，点击Run按钮，提示错误信息“there a Task is runing”；然后选择基片进行上片操作，仍提示错误信息“there a Task is runing”

由 张萍 在 4 个月 之前添加. 更新于 4 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
张萍
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-01-13
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

配置transfer功能将检测平台槽位3转运到CasstteB的槽位20，如下图，点击Run按钮，提示错误信息“there a Task is runing”。
LPB盒为UnRunning状态，手动选择一个槽位中的基片，点击Load按钮进行上片操作，提示错误信息“there a Task is runing”。
点击Reset按钮进行重置，问题仍然存在。关闭EFEM_Service，重启启动服务，问题不再发生。

文件

下载所有附件
clipboard-202501130912-jeyfk.png (1.35 MB) clipboard-202501130912-jeyfk.png 张萍, 2025-01-13 01:12
clipboard-202501131040-fpttp.png (179 KB) clipboard-202501131040-fpttp.png 张萍, 2025-01-13 02:40
clipboard-202501131045-fsmxu.png (273 KB) clipboard-202501131045-fsmxu.png 张萍, 2025-01-13 02:45
行为
复制链接

导出 Atom PDF