错误 #3733
*配置transfer功能将检测平台槽位3转运到CasstteB的槽位20,如下图,点击Run按钮,提示错误信息“there a Task is runing”。 LPB盒为UnRunning状态,手动选择一个槽位中的基片,点击Load按钮进行上片操作,提示错误信息“there a Task is runing”。 点击Reset按钮进行重置,问题仍然存在。关闭EFEM_Service,重启启动服务,问题不再发生。* !clipboard-202501131040-fpttp.png! !clipboard-202501131045-fsmxu.png! !clipboard-202501130912-jeyfk.png!