错误 #3128: 1.ID扫码设备连接失败，建议EFEM 初始化的时候，作出校验 2.样片放到预对准处，ID设备未连接，此时扫码，提示设备连接失败，EFEM会再一次初始化，需要对异常作处理 3.预对准上有样片或有真空没样片 EFEM - DEBUG模式需要开启不检验模式，能够对预对准进行操作 - 9.EFEM(设备前端模块) - BTS (问题跟踪系统)

行为

错误 #3128

已关闭

1.ID扫码设备连接失败，建议EFEM 初始化的时候，作出校验 2.样片放到预对准处，ID设备未连接，此时扫码，提示设备连接失败，EFEM会再一次初始化，需要对异常作处理 3.预对准上有样片或有真空没样片 EFEM - DEBUG模式需要开启不检验模式，能够对预对准进行操作

由周玉鹏在 8 个月之前添加. 更新于 8 个月之前.

状态:

已关闭

优先级:

普通

指派给:

目标版本:

开始日期:

2024-09-13

计划完成日期:

% 完成:

100%

预期时间:

(合计: 0.00 小时)

耗时:

(合计: 2.00 小时)

机台点位:

全局

子任务 1 (0 打开 — 1 已关闭)

相关的问题 1 (0 打开 — 1 已关闭)

行为

导出 Atom PDF