行为
需求 #3022
已关闭上海技物所-缺陷大小分组显示功能需求
机台点位:
全局
描述
需求名称 报表客户端支持缺陷大小分组显示功能
来源客户 上海技物所
涉及机台/版本 1.早期交付的第一台晶圆、Mask二合一机台
2.新交付的晶圆机台
交付时间 2024-08-31 前
前期对接人员 张彦鹏
具体需求详细描述参见附件文档
文件
行为
描述
需求名称 报表客户端支持缺陷大小分组显示功能
来源客户 上海技物所
涉及机台/版本 1.早期交付的第一台晶圆、Mask二合一机台
2.新交付的晶圆机台
交付时间 2024-08-31 前
前期对接人员 张彦鹏
具体需求详细描述参见附件文档
文件