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简介

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功能 #3016

已关闭

需求 #2865: CD 支持GDS

功能 #3005: 支持GDS的CD检测模式

CD检测 - setup为NoGrid的类型，且导入了DP文件,GDS缩略图显示

由 郭笑 在 11 个月 之前添加. 更新于 7 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
郭笑
类别:
-
目标版本:
4.3.8
开始日期:
2024-08-21
计划完成日期:
2024-09-01
% 完成:

0%

预期时间:
24.00 小时
机台点位:
全局

描述

VIS实现NoGrid类型下可选CD
导入DP文件后：
1、VIS左下角显示GDS缩略图，右侧晶圆结构也显示GDS缩略图
2、点击recipe中，检测页面右侧缩略图，显示mark对准位置，以及测量点位位置，缩略图上可做点击操作

检测后，Map缩略图用标记和颜色的方式区分每种测量后的状态：
1、测量失败：内外圈均红色标记
2、测量成功：内圈红外圈绿标记

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 #1

由 郭笑 更新于 11 个月 之前

  • 描述 已更新。 (差异)
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 #2

由 唐飞 更新于 11 个月 之前

  • 状态 从 新建 变更为 进行中
行为
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 #3

由 郭笑 更新于 11 个月 之前

  • 描述 已更新。 (差异)
行为
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 #4

由 唐飞 更新于 11 个月 之前

  • 状态 从 进行中 变更为 已解决
  • 指派给 从 唐飞 变更为 蒋毅
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 #5

由 蒋毅 更新于 10 个月 之前

  • 指派给 从 蒋毅 变更为 郭笑
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 #6

由 郭笑 更新于 7 个月 之前

  • 状态 从 已解决 变更为 已关闭
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