由 郭笑 更新于 11 个月 之前
VIS实现NoGrid类型下可选CD 导入DP文件后: 1、VIS左下角显示GDS缩略图,右侧晶圆结构也显示GDS缩略图 2、点击recipe中,检测页面右侧缩略图,显示mark对准位置,以及测量点位位置,缩略图上可做点击操作 检测后,Map缩略图用标记和颜色的方式区分每种测量后的状态: 1、测量失败:内外圈均红色标记 2、测量成功:内外圈均绿色标记
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