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错误 #3004

已关闭

生产模式下第一张晶圆在平台检测，机械手搬运第二张晶圆的时候点击Lot的stop。 这种情况下第二张晶圆放回，第一张晶圆继续检测，第一张晶圆检测完成后，下片的时候点击生成模式的【stop】，5分钟后会有LP.Stopping:timeout超时提示，这时用EFEM_UI去下片，基片下片完成后，LP的状态一直处于Stopping，未自动unload

由 张威 在 9 个月 之前添加. 更新于 9 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
张威
目标版本:
1.2
开始日期:
2024-08-21
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述


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