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错误 #3003

已关闭

EFEM_UI单片操作，点击Lot盒Stop后。如果检测平台、机械手或者预对准平台有基片未下片，5分钟后会有LP.Stopping:timeout超时提示，这时用EFEM_UI去下片，基片下片完成后，LP的状态一直处于Stopping，未自动unload

由 张威 在 9 个月 之前添加. 更新于 9 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
张威
目标版本:
1.2
开始日期:
2024-08-21
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

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