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一般

简介

行为

功能 #2626

已关闭

4. 维护 - 需求 #2536: EFEM新增功能

设计 #2540: EFEM 生产,debug,转运等相关更新

EFEM wafer index 可以设置起始值,Client端

钱忠祥12 个月 之前添加. 更新于 10 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
目标版本:
开始日期:
2024-05-31
计划完成日期:
% 完成:

100%

预期时间:
16.00 小时
机台点位:
全局

描述

  • 需求见父任务
  • 可以生产界面添加,每次启动清空为0
行为

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