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简介

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需求 #2536

已关闭

EFEM新增功能

由 张鹏康 在 大约一年 之前添加. 更新于 9 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
张鹏康
开始日期:
2024-01-17
计划完成日期:
% 完成:

100%

预期时间:
(合计: 192.00 小时)
耗时:
(合计: 73.00 小时)
机台点位:
全局

描述

目前efem在生产模式下，客户反馈功能较为单一，需要添加如下功能：
1.在晶圆列表中区分待检片和已检片，并且需要显示已检测的良率。（在老的tornado里面的机械手模块可实现的）
2.reset是否可以重置真空吸附
3.预对准部分的debug还不能对应晶圆尺寸

子任务 13 (0 打开 — 13 已关闭)

9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2145: 生产模式下，添加任务失败信息已关闭钱忠祥2024-01-17

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9.EFEM(设备前端模块) - 设计 #2540: EFEM 生产，debug，转运等相关更新已关闭钱忠祥2024-05-17

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2566: EFEM生产时,通过配置及预设能够进行转运操作，Client端已关闭郭笑2024-05-17

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2626: EFEM wafer index 可以设置起始值，Client端已关闭郭笑2024-05-31

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2658: EFEM生产时,通过配置及预设能够进行转运操作，SVC端已关闭郭笑2024-06-06

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2659: 在EFEM的生产页面上，展示生产时的实时结果，Client端已关闭郭笑2024-06-06

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2660: 在EFEM的生产页面上，展示生产时的实时结果，SVC端已关闭郭笑2024-06-06

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2661: EFEM一个片盒生产结束，根据实时结果对异常片可进行Retry操作，Client端已关闭郭笑2024-06-06

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2662: 提供生产异常任务Retry接口已关闭郭笑2024-06-06

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2663: EFEM - Debug View页面调整，Client端已关闭郭笑2024-06-06

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2664: EFEM - Debug View 后端提供接口已关闭郭笑2024-06-06

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2696: EFEM，生产模式下如果mapping后槽位有异常，该lot不可以被注册已关闭郭笑2024-06-12

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9.EFEM(设备前端模块) - 功能 #2717: 提供接口文档已关闭钱忠祥2024-06-17

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相关的问题 1 (0 打开 — 1 已关闭)

关联到 3.VIS 4 - 需求 #2608: 20240630的好达机器需求已关闭钱忠祥2024-06-07

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 #1

由 钱忠祥 更新于 大约一年 之前

  • 子任务 #2540 已添加
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 #2

由 钱忠祥 更新于 大约一年 之前

  • 状态 从 新建 变更为 进行中
  • 我们在设计中
  • 不可以重置真空状态，但是可以在debug中修改
  • Debug页面不是给客户正常使用的，不建议客户使用
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 #3

由 钱忠祥 更新于 12 个月 之前

  • 关联到 需求 #2608: 20240630的好达机器需求 已添加
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 #4

由 钱忠祥 更新于 12 个月 之前

  • 子任务 #2145 已添加
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 #5

由 钱忠祥 更新于 10 个月 之前

  • 状态 从 进行中 变更为 已解决
  • 指派给 从 钱忠祥 变更为 张鹏康
  • EFEM 1.2版本中 可以区分待检片和已检片，和检测之后状态，目前暂不支持显示良率，只有在VIS中有显示
  • reset 不可以重置真空状态，但是可以在debug中修改
  • EFEM 1.2 中debug 预对准可以对应晶圆尺寸
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 #6

由 张鹏康 更新于 9 个月 之前

  • 状态 从 已解决 变更为 已关闭
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