需求 #2555
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由 张向彬 在 大约一年 之前添加.
更新于 6 个月 之前.
描述
在选择检测die区域时,增加圆形区域检测。
当前检测区域只能设置矩形或者全部区域

客户需求增加圆形检测ROI可检测区域

文件
- 状态 从 新建 变更为 反馈
- 指派给 从 钱忠祥 变更为 张向彬
通过晶圆结构中边缘来缩放检测区域,可以实现以上功能
客户需求有两条;第一条根据晶圆圆心设置的圆形检测区域,第二条可以在晶圆结构上自由选择的圆形检测区域。
边缘区域屏蔽可实现,根据圆心设置检测圆形区域,第一条需求可以执行。
晶圆也需要的,现在无图形圆形区域检测,用隐藏边缘的方式可以设置中心圆形区域检测,晶圆检测还不能也自由选择圆形区域
- 状态 从 进行中 变更为 已解决
- 指派给 从 钱忠祥 变更为 张向彬
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