由 张向彬 在 大约一年 之前添加. 更新于 6 个月 之前.
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描述
在选择检测die区域时,增加圆形区域检测。
当前检测区域只能设置矩形或者全部区域
客户需求增加圆形检测ROI可检测区域
文件
子任务 2 (0 打开 — 2 已关闭)
相关的问题 1 (0 打开 — 1 已关闭)
关联到 重复 与其重复 阻挡 被阻挡 优先于 跟随于 复制到 复制于 问题 # 延期: 天 取消
通过晶圆结构中边缘来缩放检测区域,可以实现以上功能
如果问题已解决,关闭它
客户需求有两条;第一条根据晶圆圆心设置的圆形检测区域,第二条可以在晶圆结构上自由选择的圆形检测区域。 边缘区域屏蔽可实现,根据圆心设置检测圆形区域,第一条需求可以执行。
主要是无图形选择圆形区域
晶圆也需要的,现在无图形圆形区域检测,用隐藏边缘的方式可以设置中心圆形区域检测,晶圆检测还不能也自由选择圆形区域
VIA 已可以ROI圆形区域检测
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