3.VIS 4

测试情况：
1，掩模板：铬区聚焦稳定；玻璃区聚焦不稳定，且出现离焦较频繁
2，晶圆：静止状态聚焦稳定；运动状态离焦量变化大，聚焦不稳定。

寄给厂商一块有图案掩模板，一块有图案晶圆残片，厂商进一步分析。