3.VIS 4

EFEM部署基本完成。LoadPort、预对准、机械手均可点对点使用。
平台上下片请求，电气未按照文档开发，无法完成整个Load动作，等待电气修改。

平台无法上片原因为，电气在load上锁后理片状态不对，导致无法上片。
现将理片状态屏蔽。