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Mask尺寸：6inch，6025；RSP-200；EFEM；扫码；静电消除器；吹扫。Glass（Sensitivity：5.0u），Pellicle（Sensitivity:10.0u）
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管理: 刘军, 刘岩, 刘康明, 徐特, 钱忠祥
开发工程师: 刘军, 周鵬成, 唐飞, 徐特, 白瑞德, 蒋毅, 谷全驰, 钱忠祥, 陆涛
项目经理: 刘岩
IT: 钱忠祥