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384 45所颗粒度检测 需求 进行中 普通 全局 Core侧支持两个线阵相机 2022-03-15 05:35 行为
381 45所颗粒度检测 需求 新建 高 全局 电气支持双线阵相机的触发 刘康明 2022-03-09 01:55 行为
379 45所颗粒度检测 需求 新建 高 全局 电气侧支持激光挡片的控制 刘康明 2022-03-09 01:53 行为
377 45所颗粒度检测 需求 新建 高 全局 电气支持光源控制器接入 刘康明 2022-03-09 01:50 行为
375 45所颗粒度检测 需求 新建 高 全局 电气支持WDI的LLC接入 刘康明 2022-03-09 01:45 行为
374 45所颗粒度检测 需求 新建 高 全局 电气支持平台ACS接入 刘康明 2022-03-09 01:44 行为
332 3.电气 错误 已解决 普通 192.168.10.232 232机台硬件（运动平台、线阵相机、镜头切换）未调整好。 2023-04-19 07:34 行为
215 1.Tonardo 需求 新建 普通 晶圆机台 增加晶圆机台样片在位传感器 刘军 2022-02-24 09:25 行为
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