2.Storm » 中电55所 STORM 3000A

9月20号，23号，24号连续发生3次机械手急停报警。都是发生在机械手位于取片位，夹爪刚完成夹紧的时间。同时PLC报ACS急停报警，EFEM报0001报警。前两次急停后，软件分析是夹爪夹紧瞬间的力导致ACS平台移动超过阈值（原先阈值为0.15毫米），我到现场进行检查，发现取放片的位置良好，取放动作未与平台有干涉。软件将阈值改大至0.4毫米后，仍然发生第3次急停。与电气一同连续监控现场实际抓片抖动位移量多次，并且在家中机台上进行实验，发现抓片导致的平台移动在100-200纳米数量级，远小于设定阈值3个数量级。因此排除抓片导致平台抖动的原因。电气继续分析，并结合前期中微同类型机械手报警的问题解决过程，怀疑是机械手急停继电器不稳定，25日寄出新的继电器让客户进行更换。更换后继续观察。