行为
错误 #5879
打开Unload失败,片子卡在stage上
开始日期:
2025-08-25
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
机台点位:
全局
描述
重启EFEM和Storm软件可以正常取下,收集了相关log
文件
由 蒋毅 更新于 大约 2 个月 之前
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- 指派给 从 蒋毅 变更为 刘康明
下片执行PLC平台Reset指令,未收到完成信号。请电气排查DM100,参数为101。
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