错误 #5871: mark偏移补偿图异常 - 上海凸版 STORM 3000A - BTS (问题跟踪系统)

行为

错误 #5871

已关闭

mark偏移补偿图异常

由周庆在大约 2 个月之前添加. 更新于 28 天之前.

状态:

已关闭

优先级:

普通

指派给:

开始日期:

2025-08-25

计划完成日期:

% 完成:

0%

预期时间:

机台点位:

全局

描述

同一个recipe第一次检测完成后，更换公差点后再次检测，会出现TDI焦面不稳定，mark匹配失败

行为

导出 Atom PDF