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9.EFEM(设备前端模块)
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错误 #3889
已关闭
进行如下EFEM settings和recipe配置后,启动生产检测还是不走预对准
由
张萍
在
3 个月
之前添加. 更新于
2 个月
之前.
状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
钱忠祥
目标版本:
1.3
开始日期:
2025-02-18
计划完成日期:
% 完成:
0%
预期时间:
机台点位
:
全局
描述
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张萍, 2025-02-18 02:38
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(349 KB)
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张萍, 2025-02-18 02:39
历史记录
更改属性
行为
复制链接
#1
由
钱忠祥
更新于
2 个月
之前
状态
从
新建
变更为
已关闭
行为
复制链接
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