行为
错误 #3852
已关闭Load LP操作检测到凸片后,进行EFEM Reset操作完了,点击Load LP按钮不起作用,异常状态的组件应该复位
描述
文件
由 张萍 更新于 3 个月 之前
- 文件 clipboard-202502170941-r0ew7.png clipboard-202502170941-r0ew7.png 已添加
- 状态 从 新建 变更为 已关闭
已在更新后的软件包验证,问题不发生。
Load LP操作检测到凸片后,盒子状态仍然是Unloaded。
将片子恢复正常,即没有凸片。
1.再次点击Load LP按钮,可以对盒子进行正常操作。
2.若进行EFEM Reset操作后,点击Load LP按钮也可对盒子进行正常操作。
行为