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错误 #3852

已关闭

Load LP操作检测到凸片后,进行EFEM Reset操作完了,点击Load LP按钮不起作用,异常状态的组件应该复位

张萍3 个月 之前添加. 更新于 3 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
目标版本:
开始日期:
2025-02-08
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述


文件

钱忠祥 更新于 3 个月 之前

  • 指派给钱忠祥 变更为 张萍

张萍 更新于 3 个月 之前

已在更新后的软件包验证,问题不发生。
Load LP操作检测到凸片后,盒子状态仍然是Unloaded。
将片子恢复正常,即没有凸片。
1.再次点击Load LP按钮,可以对盒子进行正常操作。
2.若进行EFEM Reset操作后,点击Load LP按钮也可对盒子进行正常操作。

行为

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