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错误 #3759
已关闭No-Buffer模式,LPA-UnRunning状态,LPB-UnRunning状态,打开生产检测页面,点击LPA盒中的Register按钮,等基片检测完了,机械手从检测平台下片后生产检测页面闪退,EFEM页面报错“TargetSlotIndex exits”
描述
No-Buffer模式,LPA-UnRunning状态,LPB-UnRunning状态,打开生产检测页面,点击LPA盒中的Register按钮,等基片检测完了,机械手从检测平台下片后生产检测页面闪退,EFEM页面报错“TargetSlotIndex exits”
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