错误 #3734
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先在EFEM页面从CassetteB手动上片，然后在VIS中进行检测，检测完了后，使用Transfer功能将检测平台上的基片转运到CassetteA中，提示错误信息“the source substrate isnot exist”
由 张萍 在 4 个月 之前添加.
更新于 4 个月 之前.
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- 状态 从 新建 变更为 已解决
- 指派给 从 钱忠祥 变更为 周玉鹏
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