行为
错误 #3731
已关闭基片检测完了后在EFEM页面LP盒的对应槽位中显示其等级,在EFEM页面进行Transfer操作后,基片在转运后的LP盒中不显示其等级
描述
转运前
转运后
文件
由 张萍 更新于 9 个月 之前
- 文件 clipboard-202501210907-agqmq.png clipboard-202501210907-agqmq.png 已添加
- 状态 从 已解决 变更为 已关闭
在更新后的软件包已验证,问题不发生。
行为
描述
转运前
转运后
文件
在更新后的软件包已验证,问题不发生。