项目

一般

简介

行为

错误 #3685

已关闭

生产Solo Union No-Buffer模式 没有输入ID 建议根据下图格式去拼接Lot_id 和Wafer_id(EFEM1.3)

周玉鹏5 个月 之前添加. 更新于 4 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
目标版本:
开始日期:
2025-01-06
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述



文件

行为

导出 Atom PDF