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错误 #3416

已关闭

【EFEM】- 生产检测过程中,点击lot stop,预对准平台、检测平台或丫叉上存在基片,无法自动下片

郭笑6 个月 之前添加. 更新于 6 个月 之前.

状态:
已关闭
优先级:
普通
指派给:
目标版本:
开始日期:
2024-11-14
计划完成日期:
% 完成:

0%

预期时间:
机台点位:
全局

描述

1、软件版本EFEM_1.2.24303


文件

行为

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